CdTe介质膜与HgCdTe晶片间界面特性的研究

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利用Ar^+束溅射沉积技术在HgCdTe表面低温生长了CdTe介质薄膜。分别用CdTe介质膜和HgCdTe自身阳极氧化膜对HgCdTe表面钝化,利用光电导衰退信号波形的拟合,得到了不同表面钝化的HgCdTe非平衡载流子表面复合速度。结果表明,CdTe/HgCdTe界面质量已超过自身阳极氧化膜/HgCdTe界面质量。
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