【摘 要】
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研制了一种用于微细孔电火花加工的微细电极进给与激振机构，实现了加工过程中微细电极的伺服进给、损耗自动补偿、辅助激振及高精度导向。实验研究了加工过程中电极激振的频率
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研制了一种用于微细孔电火花加工的微细电极进给与激振机构，实现了加工过程中微细电极的伺服进给、损耗自动补偿、辅助激振及高精度导向。实验研究了加工过程中电极激振的频率对加工效率、加工孔径的影响。实验结果表明，电极激振振幅为0．6μm，频率位于4．3～4．5kHz范围内时，加工效率和所加工的微细孔尺寸精度同时明显提高。
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