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介绍了一种石墨舟高频热处理技术，它通过去除液相外延舟内的杂质，降低了外延片杂质浓度，从而获得高质量的外延芯片，为制备高性能器件打下良好的基础。
石墨舟高频热处理技术
【摘 要】
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介绍了一种石墨舟高频热处理技术，它通过去除液相外延舟内的杂质，降低了外延片杂质浓度，从而获得高质量的外延芯片，为制备高性能器件打下良好的基础。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2000年6期
其他文献
[基本案情]2001年8月12日凌晨零时左右,犯罪嫌疑人帅某携带一只窃得的、装有液化气的气罐及软管窜至位于江苏省南通市港闸区幸福乡幸福村3组的南通万里时装公司女工宿舍,为达