【摘 要】
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报导了我们研制的一台光子扫描隧道显微镜。论述了原理，结构，光纤探针制造，信号放大以及调试中解决的几个技术问题等。图像的横向分辨率优于１０ｎｍ，纵向分辨率约１ｎｍ，扫描范围１０μｍ×１０μｍ。还观察
【机 构】
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中国科学院北京电子显微镜实验室,大连理工大学应用物理系,中国科学院半导体研究所
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报导了我们研制的一台光子扫描隧道显微镜。论述了原理，结构，光纤探针制造，信号放大以及调试中解决的几个技术问题等。图像的横向分辨率优于１０ｎｍ，纵向分辨率约１ｎｍ，扫描范围１０μｍ×１０μｍ。还观察了云母、高密度聚乙烯ＨＤＰＥ高取向薄膜等透明材料以及铌酸锂（ＬｉＮｂＯ３＋Ｔｉ）波导的电光效应等
Reported a photon-scanning tunneling microscope we developed. Discusses the principle, structure, fiber optic probe manufacturing, signal amplification and debugging of several technical problems. The lateral resolution of the image is better than 10nm, the longitudinal resolution is about 1nm, and the scanning range is 10μm × 10μm. Also observed mica, high-density polyethylene HDPE high orientation film and other transparent materials as well as lithium niobate (LiNbO3 + Ti) waveguide electro-optic effect
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