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针对串级型结构的固体开关式脉冲电源存在的电源可靠性受同步驱动、均压等技术条件影响严重的问题，设计了一种由多个相对独立的低压固体开关式脉冲电源叠加构成的级联型高压脉冲电源。各低压脉冲电源输出端的固体开关均单独采用光纤光电耦合器和专用驱动模块控制，各光纤光电耦合器的输入端由同一PWM脉冲控制。电源的输出指标为：脉冲电压幅值100～3000V，脉冲频率5～40kHz，脉冲占空比5％～40％，脉冲电流幅值25A，额定功率50kW。研制的电源可靠性高，可实现模块化，可通过增减模块单元的数量，满足不同输出电压的需要。