电容压力传感器的FLANN建模方法

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:drlanrq
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旨在开发一种计算简单的电容压力传感器的模型,以便经济、可靠地应用.分析表明采用新型函数链接型神经网络建立的电容压力传感器模型能够精确读出应用压力,它是一种能实现输入到输出的高度非线性映射并且运算高效的非线性网络,在建立传感器模型的类似性能上比多层感知器具有更高的运算优势.
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针对硅片关键尺寸高精度准确测量的要求,在整像素级标准件法二维图像微距尺寸测量的基础上,本文综合应用基于卡尺的标准件法和空间矩亚像素细分算法,提出了具有像素级高速度、亚像素级高精度线宽测量的两步标定法。通过给出一个焊盘样本的实际测量结果来分析对比,表明该方法测量精度有了明显地提高,可以用来进行有图形硅片关键尺寸的测量标定。
RAN(Resource Allocating Network)是一种基于径向基函数的单隐含层神经网络,开始时无隐含节点,可根据新颖性准则来决定是否增加隐含节点,故有效避免了网络结构(隐含节点个数)和