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由计算机组态软件控制,可连续实现离子清洁、蒸发镀铝、离子轰击聚合、蒸发镀氧化硅保护膜、蒸发镀MgF2保护膜等工艺过程,主要用于机动车辆照明灯具反光膜镀制.
汽车灯具真空镀膜系统及技术
【摘 要】
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由计算机组态软件控制,可连续实现离子清洁、蒸发镀铝、离子轰击聚合、蒸发镀氧化硅保护膜、蒸发镀MgF2保护膜等工艺过程,主要用于机动车辆照明灯具反光膜镀制.
【机 构】
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兰州交通大学,兰州交通大学
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2005年6期
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