【摘 要】
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采用射频磁控溅射法制备了一系列的(CoTaZr)x(Al2O3)1?x (x = 0.23,0.32,0.43)纳米颗粒膜,研究了溅射功率和气压对其软磁性能和微观组织结构的影响,结果表明,样品的电阻率随
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(50971046),高等学校博士学科点专项科研基金(200805620004)
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采用射频磁控溅射法制备了一系列的(CoTaZr)x(Al2O3)1?x (x = 0.23,0.32,0.43)纳米颗粒膜,研究了溅射功率和气压对其软磁性能和微观组织结构的影响,结果表明,样品的电阻率随功率增大而递增,电阻率和饱和磁化强度都随气压先增大后减小,最佳溅射气压为2.5 Pa。磁性颗粒体积分数较高的样品具有较高的Ms,但电阻率相应较小,在x = 0.32时,试样的电阻率ρ为2.73 ±215;104 ±181;Ωcm,比饱和磁化强度Ms为56.8 emu/g。SEM分析结果表
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