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在探索空间分束法消除椭偏测试中背反杂光干扰的过程中，发现该方案能够使光束在待测样品前表面聚焦，后表面发散，发散的背反光将无法进入到探测器中，从而消除背反光的影响。选用石英玻璃和氧化铌单层膜为实验样品，分为3组，分别采用直接测量、背部打磨和空间分束三种测量模式。实验结果表明，样品未经处理情况下，不同角度直接测量得到石英玻璃折射率值差别较大，经过背部打磨后不同角度下得到石英玻璃折射率趋向一致，而采用空间光学分束处理后，石英玻璃折射率在不同角度下测试获得相同的数据。最后采用空间分束法对氧化铌单层膜进行椭偏测量，获得了较好的拟合数据。