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对使用超声搅拌和和不加搅拌时（100）单昌大雨的腐蚀特性进行了研究和对比。使用超声搅拌，可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面，整个硅片腐蚀深度的误差不超过1μm。实验结果表明，该方法可以有效地实现精密KOH各向异性体硅腐蚀。
使用超声搅拌实现精密KOH各向异性体硅腐蚀
【摘 要】
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对使用超声搅拌和和不加搅拌时（100）单昌大雨的腐蚀特性进行了研究和对比。使用超声搅拌，可以得到光滑的、无小丘的腐蚀表面，整个硅片腐蚀深度的误差不超过1μm。实验结果表明，该
【机 构】
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清华大学微电子学研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2002年4期
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