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装置技术为适应电子市场的需求而发展,纳米硅电子技术伴随着电子信息产业的发展应运而生;本文综述了纳米硅电子技术的产生、现状及未来的发展趋势;并分析了纳米硅电子技术与信息产业发展的关系.
二十一世纪的纳米硅电子技术
【摘 要】
：
装置技术为适应电子市场的需求而发展,纳米硅电子技术伴随着电子信息产业的发展应运而生;本文综述了纳米硅电子技术的产生、现状及未来的发展趋势;并分析了纳米硅电子技术与
【机 构】
：
山东电视台发射台
【出 处】
：
山东电子
【发表日期】
：
2002年3期
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