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碳纳米管的制备方法有电弧法、激光蒸发法、化学气相沉积法（CVD法）、火焰法、水热法和模板法等。主要介绍了等离子体化学气相沉积法制备碳纳米管，并对此方法制备的碳纳米管形貌进行了表征，最终优化出最佳的实验工艺。
PECVD技术制备碳纳米管的研究
【摘 要】
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碳纳米管的制备方法有电弧法、激光蒸发法、化学气相沉积法（CVD法）、火焰法、水热法和模板法等。主要介绍了等离子体化学气相沉积法制备碳纳米管，并对此方法制备的碳纳米管形貌
【机 构】
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渭南师范学院物理与电气工程学院
【出 处】
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江西科学
【发表日期】
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2013年2期
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