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报道了采用ＰＥＣＶＤ方法制备多层薄膜材料，研究了不同结构薄膜材料的气敏特性，制得了具有优越性能的ＮＯｘ、乙醇和ＴＭＡ气体传感器。
多层氧化物薄膜气体敏感特性的研究
【摘 要】
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报道了采用ＰＥＣＶＤ方法制备多层薄膜材料，研究了不同结构薄膜材料的气敏特性，制得了具有优越性能的ＮＯｘ、乙醇和ＴＭＡ气体传感器。
【机 构】
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吉林大学电子工程系
【出 处】
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云南大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1997年2期
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