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本文基于表面等离激元（SurfacePlasmonPolariton，缩写为SPP）共振腔提出了一种新型纳米温度传感器。随着温度的升高，金属的折射率会发生微小的变化，而且，共振腔的整体结构也会发生热膨胀，这都是共振腔共振波长随温度变化的因素。同时，为了放大温度对共振波长的影响，引入了一个热膨胀系数不同的金属双层膜，随着双层膜的形变，共振腔的共振波长随之发生更明显的变化。这种共振波长移动的大小可用于测量温度的变化。此外，本文采用有限元法（FiniteElementMethod，简称FEM）来计算共振腔的光学