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集成电路装备集成了基础理论，基础材料、器件物理、计算机、自动控制、光学、化学、真空技术、精密机械、装备制造、统计分析、计量学、环境超洁净控制科技领域的最新成就，是基础研究和应用研究共同发展的产物，许多技术已经在挑战机械、光学加工等方面的物理极限，集成电路装备业已成为高技术装备产业的典型代表。
中国集成电路装备制造业自主创新战略的几点思考
【摘 要】
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集成电路装备集成了基础理论，基础材料、器件物理、计算机、自动控制、光学、化学、真空技术、精密机械、装备制造、统计分析、计量学、环境超洁净控制科技领域的最新成就，是基
【机 构】
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中国科学院微电子研究所副所长
【出 处】
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中国制造业信息化
【发表日期】
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2006年4期
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