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正入射软X射线显微成像研究
正入射软X射线显微成像研究
来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:david_lau82
【摘 要】
:
正入射软X射线显微成像研究陈星旦曹健林王占山缪同群翁志成(中国科学院长春光学精密机械研究所,长春130022)项目批准号:69088008在国内率先研究了正入射X射线显微成像技术,并获得了优于1μm分辨率的
【作 者】
:
陈星旦
曹健林
【机 构】
:
中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
:
光电子.激光
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
软X射线
显微成像
正入射
磁控溅射
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正入射软X射线显微成像研究陈星旦曹健林王占山缪同群翁志成(中国科学院长春光学精密机械研究所,长春130022)项目批准号:69088008在国内率先研究了正入射X射线显微成像技术,并获得了优于1μm分辨率的正入射X射线显微成像系统,达到国际同等水平。...
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