重掺硅中氧的测定

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ncwuer

【摘要】

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研究了重掺硅中氧的测定 ,实验首先选用轻掺 (ρ>10Ω· cm)样品分别用气体熔化分析法 (GFA法 )和傅里叶变换红外法 (FTIR法 )测氧 ,而后用 GFA法测定了重掺锑、砷、硼单晶的

【作者】

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刘培东黄笑容沈益军李立本阙端麟

【机构】

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浙江大学硅材料科学国家重点实验室,浙江大学硅材料科学国家重点实验室,浙江大学硅材料科学国家重点实验室,浙江大学硅材料科学国家重点实验室,浙江大学硅材料科学国家重点实验室浙江浙大海纳科技股份公司,杭州

【出处】

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半导体学报

【发表日期】

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2001年10期

【关键词】

：

硅中氧气体熔化分析法红外光谱

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研究了重掺硅中氧的测定 ,实验首先选用轻掺 (ρ>10Ω· cm)样品分别用气体熔化分析法 (GFA法 )和傅里叶变换红外法 (FTIR法 )测氧 ,而后用 GFA法测定了重掺锑、砷、硼单晶的氧浓度 .实验发现用 GFA法和 FTIR法测氧 ,二者的结果成很好的线性关系 ,为便于比较可将重掺硅在 GFA法下的测定结果转换为 FTIR法下的测定结果 ,还对影响 GFA法测定结果的样品制取、样品处理、测试参数选择等方面进行了探讨

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