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讨论了薄膜热应力的产生原因及其计算方法，热应力与薄膜和基片的热膨胀胀系数，基片温度及其分布密切相关，利用溅射沉积在基片表面上的Ｆｅ－Ｎｉ薄膜热电偶测量薄膜沉积过程中的基片温度及其变化。Ｆｅ－Ｎｉ薄膜热电偶具有易于制作、性好和动态响应等优点，热电热率也较高（０．０２２ｍＶ／Ｃ）。最后，简介介绍了磁控溅射Ｃｏ－Ｃｒ合金膜的热应力和本征应力的研究结果。