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介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于 0 .2 nm( Ra)。可以摆放在金刚石车床的刀架上测量超精密加工表面微观形貌
在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪
【摘 要】
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介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于 0 .2 nm( Ra)。可以摆放在金刚石车床的刀架上
【机 构】
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四川大学激光应用技术研究所
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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2001年02期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目! (5 92 3 5 12 3 )
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