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本文作者采用光学式角度传感器，制作了探针驱动式角度测量型原子间力显微镜（ＡＦＭ），它区别于历来的原子力显微镜信号的位移测量方法，克服了以往测量方法对被测的尺寸、重量衣扫描速度的限制。
角度测量型原子间力显微镜
【摘 要】
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本文作者采用光学式角度传感器，制作了探针驱动式角度测量型原子间力显微镜（ＡＦＭ），它区别于历来的原子力显微镜信号的位移测量方法，克服了以往测量方法对被测的尺寸、重量衣扫描速度的
【机 构】
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天津大学,东北大学
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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1999年3期
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