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从实际应用角度出发,首先简要介绍了MEMS光开关的构造与驱动方式,然后着重描述了如何通过软硬件的设计对MEMS光开关实施控制以达到对光路进行任意切换的目的.
MEMS光开关的控制
【摘 要】
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从实际应用角度出发,首先简要介绍了MEMS光开关的构造与驱动方式,然后着重描述了如何通过软硬件的设计对MEMS光开关实施控制以达到对光路进行任意切换的目的.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第三十四研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2003年11期
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