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应用电磁场分析中的一种新方法--半解析法,对一种典型的非平衡磁控溅射系统进行了磁场分析. 结果表明,应用半解析法计算,求解变量少、方法简单,而且计算精度高,该方法相对于等效源法有严密的理论依据,标量位函数的表达式为级数解析式,有利于场强的计算,更有利于优化设计.
非平衡磁控溅射系统磁场的半解析法
【摘 要】
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应用电磁场分析中的一种新方法--半解析法,对一种典型的非平衡磁控溅射系统进行了磁场分析. 结果表明,应用半解析法计算,求解变量少、方法简单,而且计算精度高,该方法相对于
【机 构】
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西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室
【出 处】
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物理学报
【发表日期】
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2004年期
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