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对用磁控溅射方法在硅基上直接沉积La0.8Sr0.2MnO,和引入SrMnO,(SMO)阻挡层后沉积La0.8Sr0.2MnO,进行了比较。对薄膜结构用X射线衍射试验表征,并分析了薄膜取向生长的原因。卢瑟福背散射实验结果表明,SMO阻挡层的引入显著地削弱了LSMO和si界面层处的元素互扩散。电学测试表明LSMO/SMO/Si结构比LSMO/Si结构具有更好的P—n结整流特性,而且随SMO缓冲层的增厚,整流特性反而削弱。