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论述了低浓度碱性过氧化氢清洗液兆声清洗钽酸锂、铌酸锂和水晶等压电晶圆的工艺技术。在保持压电晶圆特性的前提下，该技术可有效去除晶圆表面小于0．2μm的附着颗粒，使其表面洁净度满足亚微米线宽高频声表面波（SAW）器件生产要求，同时降低了化学品、去离子水的消耗量及对环境的污染。
高频声表面波器件用压电晶圆清洗技术研究
【摘 要】
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论述了低浓度碱性过氧化氢清洗液兆声清洗钽酸锂、铌酸锂和水晶等压电晶圆的工艺技术。在保持压电晶圆特性的前提下，该技术可有效去除晶圆表面小于0．2μm的附着颗粒，使其表面洁
【机 构】
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中国电子科技集团公司第26研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2013年3期
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