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在现代电子元器件的生产。中，器件失效率已降至几十FIT。为了满足高质量和高可靠性元器件的生产要求，对各工序的工序能力指数的要求也随之提高。文章介绍了工序能力分析在半导体生产线上的实际应用。在工艺过程稳定受控条件下，采取各种措施，不断提高工艺的工序加工能力，满足高质量产品的加工需求。
工序能力分析在半导体生产线的应用
【摘 要】
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在现代电子元器件的生产。中，器件失效率已降至几十FIT。为了满足高质量和高可靠性元器件的生产要求，对各工序的工序能力指数的要求也随之提高。文章介绍了工序能力分析在半导
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所,西安电子科技大学微电子学院
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2008年4期
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