【摘 要】
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采用扰动理论推导了聚酰亚胺薄膜作为声表面波的吸声材料时，声表面波的传输损耗模型。利用网络分析仪对表面涂覆厚5μm光敏型聚酰亚胺薄膜的双声路SAW传感器（中心频率165MHz）的
【机 构】
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西安理工大学自动化与信息工程学院,浙江大学信息科学与工程学院
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采用扰动理论推导了聚酰亚胺薄膜作为声表面波的吸声材料时，声表面波的传输损耗模型。利用网络分析仪对表面涂覆厚5μm光敏型聚酰亚胺薄膜的双声路SAW传感器（中心频率165MHz）的插入损耗进行测试，对理论模型进行了实验验证。理论结果表明，聚酰亚胺薄膜造成SAW的传输损耗和传感器的中心频率的高低、聚酰亚胺薄膜的厚度以及聚酰亚胺薄膜的宽度成正比。实验测试也证明，聚酰亚胺薄膜对声表面波造成的传输损耗和宽度成正比关系，测得传输损耗为9．5dB／mm。
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