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简要介绍了电子注分析仪数据采集及控制系统的重要性和基本结构 ,然后着重介绍了该系统的软、硬件设置及其工作原理。
EBAS-1型电子注分析仪数据采集及控制系统
【摘 要】
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简要介绍了电子注分析仪数据采集及控制系统的重要性和基本结构 ,然后着重介绍了该系统的软、硬件设置及其工作原理。
【机 构】
：
中国科学院电工研究所!北京100080,中国科学院电工研究所!北京100080
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
：
2000年02期
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