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简要介绍了低温等离子体清洗设备清洗机理、特点及其应用.
低温等离子体清洗设备
【摘 要】
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简要介绍了低温等离子体清洗设备清洗机理、特点及其应用.
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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2005年5期
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