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针对压电陶瓷器件在精密定位控制中存在的迟滞、蠕变和位移非线性等不足，本文采用压电陶瓷直接粘贴应变片组成测量电桥作为位置反馈环节，设计了带上下限位的变参数PID闭环控制微位移系统，达到了预期的控制精度和效果。
压电陶瓷微位移系统的变参数PID闭环控制方法
【摘 要】
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针对压电陶瓷器件在精密定位控制中存在的迟滞、蠕变和位移非线性等不足，本文采用压电陶瓷直接粘贴应变片组成测量电桥作为位置反馈环节，设计了带上下限位的变参数PID闭环控制
【机 构】
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中国航空工业第一集团公司北京长城计量测试技术研究所
【出 处】
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计测技术
【发表日期】
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2006年2期
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