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对绝缘性陶瓷Si3N4进行了电火花加工试验。加工过程中，用示波器监测记录了工具电极与工件之间的电压和电流波形，用电子扫描显微镜和万用电表检测了工件表面生成导电膜的厚度和电阻。通过分析各类波形中正常放电、长脉冲放电、短路、电弧的构成及其对生成导电膜的影响，指出长脉冲放电是生成导电膜的主要原因，而具有一定厚度的生成导电膜是绝缘性陶瓷Si3N4电火花加工稳定的必要条件。