论文部分内容阅读
集成电路的发展使硅槽的应用越业越广泛，如硅槽隔离和槽电容等等，它们将使器件的性能得到很好的改善。
硅槽刻蚀工艺研究
【摘 要】
：
集成电路的发展使硅槽的应用越业越广泛，如硅槽隔离和槽电容等等，它们将使器件的性能得到很好的改善。
【机 构】
：
中国华晶电子集团公司中央研究所
【出 处】
：
微电子技术
【发表日期】
：
1995年1期
其他文献
随着社会的发展,我国道路工程的发展也越来越完善.我国经济建设得到了飞速发展,并且每年都在稳步上升,在此背景之下道路桥梁建设从资金,材料,技术等等方面都得到了跨越式的发
在工业化、城市化进程不断加快的过程中,城市水环境污染越来越严重,对人们的生产生活产生严重的负面影响,加强城市水环境综合整治与污染控制治理也越来越重要.本文重点探讨城
<正> 数字化直接制版(Computer toplate)和数字化直接印刷(Computerto Print)都可简写为CTP。为了实现CTP和按需印刷,必须扩充印前的数字化环境。全数字化率的概念是指从设计
高中全部化学是以门捷列夫周期律为基础的,因此这个重要理论教材在化学课程中必须占有适当的位置,以便遵循这种科学精神和系统进行研究各种化学事实。大纲中规定在讲各族非
随着我国经济在快速的发展,社会在不断的进步,在当今社会中环境监测实验室质量控制对整个环境保护事业有着重大的影响,因为环境监测实验室质量控制主要控制的就是实验结果的
危重症患者营养风险发生率高,营养支持的第一步须进行营养风险筛查。本文从危重症患者常用的营养风险筛查工具及其国内外的应用现状进行综述,并针对我国危重症患者营养风险筛
在服装的设计学习中离不开对纺织面料的了解,高中生在对相关知识进行深入的了解时,要对服装不可缺少的纺织面料进行全面的认知。本文以作者的一点理解,简述了其面料的发展过
转喻是同一理想化认知模型内,用一个概念实体作为工具,为另一个代表认知目标的概念实体提供心理途径的认知过程。本文阐述了转喻的本质,并运用Fauconn ier提出的空间映射和概