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概述了混合微电子技术用关键材料的种类和现状，讨论了混合微电子产品对不同材料的要求，分析了各种材料的特点，列出了相关材料的详细数据，指出了这些材料的发展趋势。
混合微电子技术用关键材料的新进展
【摘 要】
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概述了混合微电子技术用关键材料的种类和现状，讨论了混合微电子产品对不同材料的要求，分析了各种材料的特点，列出了相关材料的详细数据，指出了这些材料的发展趋势。
【机 构】
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合肥电子部４３所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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1995年4期
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