【摘 要】
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为了使RF离子源具有良好的引出特性，测试了吸极几何参数、振荡器板压和引出电压对离子源聚焦度的影响，对实验结果进行了分析。在其它参数不变的情况下，吸极的外径D与内径d之比存
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为了使RF离子源具有良好的引出特性，测试了吸极几何参数、振荡器板压和引出电压对离子源聚焦度的影响，对实验结果进行了分析。在其它参数不变的情况下，吸极的外径D与内径d之比存在最佳值，增加D／d，有利于过聚焦的离子束恢复聚焦状态。吸极的长度为L，石英套管比吸极长l。当l／D增大时，聚焦度上升，引出束流下降。L／d之比减小时，聚焦度增大。当L／d小于4时，聚焦度增加趋势变缓。综合考虑聚焦度、引出束流和气压，D／d，l／D，L／d适宜的选择范围分别为1．6～2．1，0．7～1．1，4～7。增加振荡器功率会使离子束
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