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叙述了坡莫合金,铁氧体和非晶、纳米晶软磁等材料用作微电感磁芯的磁性材料的特性及其对微电感性能的影响,如电感量和Q值。并介绍了螺线管型微电感的制作工艺过程。
不同磁芯材料在微电感中的应用
【摘 要】
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叙述了坡莫合金,铁氧体和非晶、纳米晶软磁等材料用作微电感磁芯的磁性材料的特性及其对微电感性能的影响,如电感量和Q值。并介绍了螺线管型微电感的制作工艺过程。
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年10期
【基金项目】
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国家高技术研究发展专项经费(2004AA302042)国家自然科学基金项目(50275096)上海市纳米专项(0215nm104、0352nm014)
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