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Er2O3是一种很有希望的高κ材料.在氧气氛下热蒸发金属铒源,制备了Er2O3的薄膜,随后在氧气氛下对它进行了退火.通过对其C-V及I-V特性的测试,认为该材料的电学特性优秀,应该进行进一步的研究.
Er2O3薄膜的电学性质研究
【摘 要】
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Er2O3是一种很有希望的高κ材料.在氧气氛下热蒸发金属铒源,制备了Er2O3的薄膜,随后在氧气氛下对它进行了退火.通过对其C-V及I-V特性的测试,认为该材料的电学特性优秀,应该进
【机 构】
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复旦大学应用表面物理国家重点实验室
【出 处】
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江西科学
【发表日期】
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2005年5期
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