【摘 要】
：
微电子技术的发展促使钨铼合金向高纯、高致密、高均匀化方向发展,化学气相沉积(CVD)W-Re合金在纯度、致密度方面有着绝对优势,探索CVDW-Re合金的制备工艺对制备均匀的高纯高
【机 构】
：
北京理工大学材料学院,北京100081
论文部分内容阅读
微电子技术的发展促使钨铼合金向高纯、高致密、高均匀化方向发展,化学气相沉积(CVD)W-Re合金在纯度、致密度方面有着绝对优势,探索CVDW-Re合金的制备工艺对制备均匀的高纯高致密W-Re合金有重要意义.从CVD钨铼合金共沉积系统出发,介绍了CVD钨铼共沉积体系中存在的物质及可能发生的基元反应;阐述了不同限速步骤下钨铼合金的组织和性能演变,并强调了铼的气相传质控制下,钨铼合金成分对气相组成和沉积温度的敏感性;解释了高铼含量和低铼含量的钨铼合金的晶体生长形貌和生长机制;结合W-Re二元平衡相图总结了CVD W-Re合金的组成、性能和应用.通过以上对CVDW-Re合金系统的介绍,为高纯、高致密且性能均匀的钨铼合金的制备和应用市场的开发提供了借鉴.
其他文献
通过多年在高速线切割机(WEDM-HS)上的教学实验、科研加工和生产实践的经历,根据线切割加工的工艺特点,对于怎样正确选择线切割加工工件的定位基准,合理选择线切割加工使用的
教师在对中职学生计算机教学过程中要充分利用学生这一特性，很好地引导学生加强在实际操作方面的能力，不断拓展学生在计算机学习方面的时间和空间。
特种加工作为当代先进制造业的代表之一,其在制造业领域产生的影响力与日俱增.目前国内大多数高校都已在工程实训中增设了特种加工实训项目.这其中主要以电火花成形与电火花
德国Ｇｉｓｅｌａ １ 、５ 、７ 系列矮化砧木在ＭＳ＋ ＢＡ１ ．３２μｍｏｌ 的培养基上能快速增殖，在１／２ ＭＳ＋ ＩＢＡ１ ．５μｍｏｌ 培养基上生根率可达７０ ％ 以上，移栽于温室后的成活率在６０ ％ 以上，从温室移栽到大田的成活率达６５ ％ 。在大田条件下成活６７００ 余
富士通公司制成54 cm 640×480象素彩色等离子体显示器,它可通过64级灰度的红绿蓝显示26万种色彩。该产品共有1920×480显示点。富士通公司接受了显示板的生产订单,可提供每
Ararely seen perspective on the Imperial City was unveiled in a just-concluded exhibition of images of old Peking from Western eyes at the time. As part of the
电火花线切割，其基本工作原理是用细金属丝(金属钥丝或钨丝)作为工具电极，利用其连续移动对工件进行脉冲火花放电，使局部瞬时产生高温来蚀除材料的一种金属加工方法，属于一种数控
在卫生监督管理工作中,对申请注册的单位进行卫生状况调查,发现部分单位卫生状况不良,职工的卫生保健意识贫乏。建议在今后的监督管理工作中加强对管理对象的卫生监督,完善卫
工程综合实训是以学生工程综合实践和创新能力训练为目标的高层次工程实践训练,是近年来工程实践教学改革的重点和难点.本校工程训练中心基于大工程的观点,融入案例反求和CDI
G115马氏体耐热钢是钢铁研究总院历时十余年自主研制的新型马氏体耐热钢,是国家630℃先进超超临界燃煤电站示范项目唯一可选材料.利用3.6万t垂直立式挤压机热挤压G115大口径