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采用溶胶凝胶法的无机工艺路线,在普通陶瓷管上制备Sb、F共掺的SnO2薄膜,研究了薄膜表面电阻与掺杂量、浸涂次数以及薄膜的发热温度的关系.其表面电阻最低为8Ω/□,薄膜的发热温度可达600℃以上,将其作为ClO2反应管的面源加热介质,通过改变电热膜面积,形成温度梯度和浓度梯度的双梯度反应方式,大大提高了反应物的转化率.