实验设计与模拟相结合用于IC优化设计的TCAD工具

来源 :北京大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：llww6

【摘要】

：

鉴于PC机广泛普及和使用方便,在PC机上建立起实验设计与模拟相结合用于IC优化设计的TCAD工具.利用已有的工艺模拟软件SUPREM、器件模拟软件MINIMOS及电路模拟软件PSPICE,完成

【作者】

：

甘学温杜刚肖志广

【机构】

：

北京大学微电子学研究所

【出处】

：

北京大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

实验设计响应表面拟合优化设计 TCAD工具集成电路电路模拟软件 IC DOE response surface optimization desig

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鉴于PC机广泛普及和使用方便,在PC机上建立起实验设计与模拟相结合用于IC优化设计的TCAD工具.利用已有的工艺模拟软件SUPREM、器件模拟软件MINIMOS及电路模拟软件PSPICE,完成了响应表面拟合、SPICE模型参数提取及数据转换等程序,形成一个可以进行工艺、器件及电路分析和优化设计的TCAD工具,并用于研究实验设计方法在IC优化设计中的应用.

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