一种新结构介观压光型微加速度计

来源 :红外与激光工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chencr33
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对镜像异质三周期光子晶体的研究理论表明,在实际应用范围内,透射率与光子晶体所受的轴向应力呈简单的线性关系。据此,设计一种能实现微梁直拉直压的加速度计,微梁很小很敏感,处于轴向直拉直压位置时,能极大提高结构的灵敏度和自由振动频率。以镜像异质三光子晶体替代以往的压敏电阻,只需检测其透射率,即可得出加速度大小。最后结果表明:当透射光强改变1酃时,该结构可以感知小于0.4mgn的加速度的变化,测量量程可达3.2gn。 The theory of the heterogeneous three-period photonic crystal shows that there is a simple linear relationship between the transmittance and the axial stress of the photonic crystal in practical application. According to this, an accelerometer is designed to achieve the direct tension and pressure of the micro-beam. The micro-beam is very small and very sensitive. When it is in the axial straight-pull and direct-pressure position, it can greatly improve the sensitivity and free vibration frequency of the structure. To mirror the heterogeneous three-photon crystal instead of the past varistor, simply by measuring the transmittance, you can come to the size of the acceleration. The results show that the structure can sense the change of acceleration less than 0.4mgn when the transmitted light intensity changes by 1,, and the measuring range can reach 3.2gn.
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