【摘 要】
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皮秒激光精密加工金刚石等硬脆性材料是当前最佳工程解决方案与技术前沿热点。常规采用脉冲宽度≤20 ps激光光源,可以实现切割面崩边<5μm,表面粗糙度Ra1.6的切割质量。我们
【机 构】
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温州大学机电工程学院; 温州大学激光与光电智能制造研究院; 中山铟尼镭斯科技有限公司;
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皮秒激光精密加工金刚石等硬脆性材料是当前最佳工程解决方案与技术前沿热点。常规采用脉冲宽度≤20 ps激光光源,可以实现切割面崩边<5μm,表面粗糙度Ra1.6的切割质量。我们采用脉冲宽度200 ps的低成本皮秒光纤激光器,对激光功率与切割速度等工艺参数进行优化,通过外光路整形系统对光束进行整形,以及聚焦透镜的优化设计等关键技术进行研发,实现了切缝的最大崩边宽度≤6μm、表面粗糙度Ra1.6的加工质量,其加工效率与20 ps激光精密加工工艺一致,生产成本显著降低,满足了生产金刚石刀具精密切割需求,可解决拉丝模、刀具刃口加工的后续抛光问题。
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