溶胶凝胶法制备钛酸铋薄膜中溶胶浓度对薄膜厚度和粗糙度的影响及拉曼光谱的研究

来源 :伊犁师范学院学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：trulyliu

【摘要】

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采用溶胶-凝胶工艺,在Pt/Ti/SiO2/Si（100）基片上以不同浓度的溶胶制备出Bi层状钙钛矿Bi4Ti3O12薄膜,用APEX型多功能力学测试系统的3D显微镜模块和拉曼光谱仪对其进行表征.结果

【作者】

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余娟王晓云马蕊尚洁萤尹红梅

【机构】

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伊犁师范学院物理科学与技术分院,南京大学物理学院

【出处】

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伊犁师范学院学报：自然科学版

【发表日期】

：

2018年01期

【关键词】

：

Bi4Ti3O12铁电薄膜溶胶-凝胶法(Sol-Ge) 微观结构拉曼分析

【基金项目】

：

新疆自然科学基金项目“含Bi层状钙钛矿型多铁薄膜的取向控制生长研究”(2015211C296).

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采用溶胶-凝胶工艺,在Pt/Ti/SiO₂/Si（100）基片上以不同浓度的溶胶制备出Bi层状钙钛矿Bi₄Ti₃O₁₂薄膜,用APEX型多功能力学测试系统的3D显微镜模块和拉曼光谱仪对其进行表征.结果表明:在一定范围内,不同浓度的溶胶制备出的薄膜厚度与溶胶的浓度成正比;表面粗糙程度随着薄膜浓度的增大而减小;随着浓度的增加,620⁶70 cm^-1处的拉曼峰宽逐渐缩小,变得尖锐.

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