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高精度激光三角法位移测量被测表面倾斜影响研究
高精度激光三角法位移测量被测表面倾斜影响研究
来源 :计量技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sdszsh122
【摘 要】
:
在高精度激光三角法位移测量中,被测表面的倾斜对测量准确度有很大影响。本文介绍利用光散射的基本原理研究光电接收器接收面上象光斑的光能质心偏移与倾斜角及位移量之间的定
【作 者】
:
庄葆华
王少清
【机 构】
:
天津大学精仪系
【出 处】
:
计量技术
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
激光
三角法位移测量
表面倾斜
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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在高精度激光三角法位移测量中,被测表面的倾斜对测量准确度有很大影响。本文介绍利用光散射的基本原理研究光电接收器接收面上象光斑的光能质心偏移与倾斜角及位移量之间的定量关系,给出了计算机模拟及实验结果,探讨了减少或消除被测表面倾斜影响的方法。
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