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以预-主脉冲方式工作的激励软X光激光毛细管放电装置,其预-主脉冲先后触发时间间隔的控制,直接影响了泵浦能量转换为X射线激光能量的效率.运用光电耦合及脉冲变压器隔离等技术,将集成芯片构成的延时电路用于快速高压放电装置中.实验结果表明,预-主脉冲协调工作,延时触发2～50μs,为产生软X光激光提供了条件.