辐射对GaAs霍尔器件电磁参数的影响

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:edwinandwolf
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为了深入揭示γ和β射线辐照对GaAs霍尔器件的影响规律,在无源、无磁场作用时的辐照研究基础上,又用低剂量率γ和β射线对恒流激励、无磁场和有确定磁场作用的器件进行非永久辐照,考察了输入端电阻及霍尔输出电压的变化。结果表明,无磁场作用时,γ和β射线辐照均导致器件输入端电阻增加,而且与辐照时间近似成正比;有确定磁场作用时,输入端电阻与霍尔输出电压也因辐照发生变化,但与辐照时间没有确定关系,而且变化量较小。所有变化均不因辐照停止而消失,反应了常温退火过程对辐射损伤的不可恢复性。上述结果不仅从一定程度上证实了辐射损
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