【摘 要】
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受限于面阵像元尺寸和细分技术,利用面阵器件进行长度测量难以达到亚微米级。提出了一种基于法布里珀罗(F-P)标准具多光束干涉成像原理的二维亚微米级位移测量方法,通过计算
【机 构】
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中国计量大学计量测试工程学院; 清华大学物理系;
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受限于面阵像元尺寸和细分技术,利用面阵器件进行长度测量难以达到亚微米级。提出了一种基于法布里珀罗(F-P)标准具多光束干涉成像原理的二维亚微米级位移测量方法,通过计算同心干涉圆环圆心坐标变化量得到焦平面内的二维微位移。采用虚拟面阵像元细分和峰位坐标局域细分技术等处理面阵海量信息,减小未定系统误差影响,实现同心干涉圆环圆心坐标的准确求取。实验采用间隔约为2mm的F-P标准具、焦距为50mm的光学透镜,对焦平面内不同位置处的成像同心干涉圆环圆心进行计算,结果表明测量范围基本可达到3mm。实验采用激光相调差动干涉仪进行位移比对测量,结果表明在34μm量程范围内,测量结果的直线拟合标准差为0.0154w",t=2.45时扩展不确定度为0.036w"(w"为相对像元间隔),验证了该测量方法的准确性。
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