热释电薄膜在红外探测器中的应用与研究进展

来源 :重庆师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：buyezhicheng

【摘要】

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探讨了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式,特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求.为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对ROIC的破坏性影响,一方面

【作者】

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吴传贵刘兴钊张万里李言荣

【机构】

：

电子科技大学

【出处】

：

重庆师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

铁电薄膜热释电非制冷红外焦平面阵列低温生长 ferroelectric thin filmpyroelectricuncooled infrared fo

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探讨了热释电效应及热释电薄膜红外探测器的工作模式,特别是探测器单元对热释电薄膜的材料与低温生长要求.为了克服薄膜生长过程中较高的基片温度对ROIC的破坏性影响,一方面发展了离子束辅助沉积、外延缓冲层等多种低温生长技术;另一方面发展了复合探测器结构设计,已研制出了性能良好的铁电薄膜非制冷红外焦平面阵列,其NEDT可达20 mK.

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