掺硼CVD金刚石的电加工表面分析

来源 :苏州大学学报(工科版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：jiachengpu

【摘要】

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金刚石具有一系列独特的力学、热学、声学、电学、光学和化学性能,在高科技领域具有广阔的应用前景.普通CVD金刚石膜是高度绝缘的,不能采用如电火花等加工导电聚晶金刚石(PCD

【作者】

：

曹振中褚向前黎向峰左敦稳

【机构】

：

南京航空航天大学机电学院

【出处】

：

苏州大学学报(工科版)

【发表日期】

：

2004年5期

【关键词】

：

掺硼CVD金刚石导电电火花成型线切割粗糙度表面质量 chemical vapor depositiondiamond thick filmelectr

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金刚石具有一系列独特的力学、热学、声学、电学、光学和化学性能,在高科技领域具有广阔的应用前景.普通CVD金刚石膜是高度绝缘的,不能采用如电火花等加工导电聚晶金刚石(PCD)的方法和设备对其进行加工.本文通过掺硼实现了金刚石膜的导电,开展了电火花成型和线切割的实验研究,并通过SEM、Raman分析和粗糙度测量对加工后的表面进行了分析.

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