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硬质TiN薄膜广泛用作高速钢刀具的耐磨层,较少用于其他钢种。本文选择W6Mo5Cr4V2、3Cr2W8V和GCr15三种材料用多弧离子设备沉积TiN涂层,测定了涂层的表面硬度、涂层与基体的结合力、TiN涂层的结构及过渡层硬度分布。试验结果证明:只有选择在沉积温度下保持高的硬度及舍有较多合金元素尤其是V元素的基体材料,才能获得良好性能的TiN涂层。