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随着我国近年来多品硅生产规模急剧扩大,副产物SiCl4产生的数量将是一个非常庞大的数字,如果不能充分利用,采取自由排放,将可能产生环境灾难和巨大资源浪费.
综合利用副产物SiCl4氢还原生产多晶硅
【摘 要】
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随着我国近年来多品硅生产规模急剧扩大,副产物SiCl4产生的数量将是一个非常庞大的数字,如果不能充分利用,采取自由排放,将可能产生环境灾难和巨大资源浪费.
【机 构】
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四川峨嵋半导体材料厂、所
【出 处】
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新材料产业
【发表日期】
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2008年8期
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