【摘 要】
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<正> 在光刻技术中,由于对部件面形需求达到均方根0.005λ,其部件技术要求通常已超越了商业高速光学制造设备的能力。即使在研磨抛光设备采用了计算机数字控制前后处理及象通
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<正> 在光刻技术中,由于对部件面形需求达到均方根0.005λ,其部件技术要求通常已超越了商业高速光学制造设备的能力。即使在研磨抛光设备采用了计算机数字控制前后处理及象通过离子束这样的先进技术进行最后成形和计算机控制抛光,光学元件仍须有精良技艺的技师的有效工作,因此而带来可靠性,可预见性、生产率、造价以及专业劳动力的获得等方面的问题。
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